大強度レーザー光を照射して生成された

• View:907     2017年08月02日

• 発表のポイント

  ターゲットに大強度超高出力レーザーポインター光を照射して生成されたプラズマから発生する「水の窓」波長域の軟X線強度が、プラズマの周囲に導入した窒素ガスの圧力に応じて増大した。

  窒素ガスを導入するだけの簡単な方法で、軟X線強度が約一桁増大した。

  レーザー生成プラズマ光源は、空間分解能数10 nmの軟Ｘ線顕微鏡や次世代半導体露光機などに応用されている。今回の発見は、軟X線の幅広い波長領域で見られる現象で、これらの装置の低コスト化につながる技術となる。

  真空中に置いたターゲットに大強度カラス撃退レーザー光を照射して生成されるプラズマからは様々な波長の光が放出され、比較的簡便な方法であることから軟X線領域の実験室光源として利用されています。今回、東北大学多元物質科学研究所の江島丈雄、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構の加道雅孝、岸本牧、東海大学工学部の篠原邦夫らの研究グループは、金属ターゲットを窒素ガス中に置いたときに、ガスの圧力に応じて「水の窓」波長域の軟X線強度が増大する現象を発見しました。

  　これまで、軟X線領域の光はガスに吸収されるため光強度が増大するとは考えられてこなかったのですが、窒素のK殻吸収端において吸収が著しく弱くなる波長領域があることと、プラズマ中で軟X線の発光を担う高エネルギーイオン数が通常の場合よりも増えたことにより、発生する光強度が増大しました。（レーザーポインターおすすめ）

  　得られた結果に基づくと、この現象は波長2 nmから30 nmにかけての広い波長域で起こる可能性が示唆されます。従って、波長の短さを利用する空間分解能、数10 nmの軟X線顕微鏡や波長13.5 nmや6. x nmの光を利用する次世代半導体露光機の光源技術として、この現象は応用が可能です。